나이오븀 스퍼터링 타겟 (니오븀 타겟)

나이오븀(니오븀) 타겟은 전자빔으로 정련한 나이오븀 금속 덩어리(잉곳)으로 만듭니다. 제조 공정은 기계적 변형, 기계 가공(트리밍 · 평면 밀링), 진공 결정 조직을 새로 만드는 열처리(재결정 풀림), 마무리 화학 처리입니다.

타겟 밀도가 높을수록 내부 기공이 줄어 스퍼터 막의 성능이 좋아집니다. 밀도는 이온을 부딪쳐 얇은 막을 입히는 방식(스퍼터링) 속도뿐 아니라 막의 전기적 · 광학적 성질에도 영향을 주며, 밀도와 강도가 높으면 스퍼터링 중 열응력에도 잘 견딥니다.

사용 후 타겟 표면이 거울처럼 매끈하게 나올 만큼 금속 속의 작은 결정 알갱이(결정립)이 고르고 품질이 안정적입니다. Nb-10Zr 타겟과 Nb-1Zr 타겟도 같은 품질로 만듭니다.