Nb-10Zr 나이오븀-지르코늄 합금

나이오븀 90% · 지르코늄 10% (Nb-Zr 90/10 wt%), 스퍼터링 타겟

Nb-Zr 90/10 wt% 진공 소모 전극 아크 용해 스퍼터링 타겟

Nb-10Zr(나이오븀 90% · 지르코늄 10%, Nb-Zr 90/10 wt%) 합금은 아래 5단계로 만듭니다. 이온을 부딪쳐 얇은 막을 입히는 방식(스퍼터링) 타겟으로도 공급하며, 사용 후에도 표면이 매끈하게 나오는 품질입니다.

합금 이름 읽는 법 — 맨 앞 원소 기호가 주성분, 뒤의 ‘숫자 + 원소 기호’가 섞은 원소와 그 함량(무게 %)입니다. 나머지는 모두 주성분입니다.

Nb-10Zr = 나이오븀(Nb) 90% + 지르코늄(Zr) 10%
Nb-1Zr = 나이오븀(Nb) 99% + 지르코늄(Zr) 1%

숫자는 대표값이며, 실제 허용 범위는 규격이나 성적서에 정해져 있습니다.

제조 공정 5단계 Manufacture Process

원자력급 스펀지 지르코늄 9.5 ~ 10.5% 와 수소화-탈수소 나이오븀 분말 89.5 ~ 90.5% 를 무게로 맞춥니다 (합계 100%).
나이오븀 분말로 전극을 만들어 정제한 뒤 진공 아크로에서 나이오븀 금속 덩어리(잉곳)을 만듭니다.
스펀지 지르코늄의 불순물을 없애고 세척 · 진공 건조해 잉곳으로 만든 뒤, 열간 · 상온에서 롤로 눌러 얇게 펴는 가공(냉간 압연)으로 지르코늄 판을 만듭니다.
지르코늄 판을 나이오븀 잉곳과 같은 길이의 띠로 잘라 잉곳에 단단히 붙이고, 아르곤을 채운 진공 챔버에서 나이오븀-지르코늄 복합 잉곳을 얻습니다.
복합 잉곳을 전극으로 만들어 녹으면서 소재가 되는 전극을 쓰는 진공 용해로(소모 전극 진공로)에서 5 ~ 6시간 용해하고 아르곤으로 3.5 ~ 4시간 냉각합니다. 잉곳을 잘라 다시 5 ~ 6시간 용해, 3.5 ~ 4시간 냉각해 Nb-Zr 90/10 wt% 합금을 얻습니다.