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40ZrZirconium91.224
ZIRCONIUM SPUTTERING TARGET
지르코늄 스퍼터링 타겟
원통형 · 판형 · 관형 타겟, R60702 · R60705 와 고순도 99.95%
R60702 · R60705
고순도 Zr 99.95%
원통 · 판 · 관형
일반 재질은 R60702, R60705 입니다. 특수 재질인 고순도 지르코늄 타겟은 수입한 요오드화 지르코늄 봉(크리스탈 바)을 전자빔로에서 용해 · 두드리거나 눌러 모양을 만드는 가공(단조) · 기계 가공해 만들며, 지르코늄 함량이 99.95% 에 이릅니다.
형상별 크기 예 mm
| 형상 | 크기 예 |
| 원통형 타겟 | 지름 58 × 두께 30, 지름 100 × 두께 40, 지름 85 × 두께 45 등 |
| 판형 타겟 | 8 × 170 × 300, 14 × 150 × 500, 6 × 125 × 500 등 |
| 관형 타겟 | 외경 148 × 벽 두께 11.5 × 길이 686, 외경 88 × 벽 두께 10 × 길이 1,230 등 |
주문 치수로 제작합니다.
화학 성분 비원자력 공업용 지르코늄 타겟
비원자력 공업용 지르코늄 타겟 화학 성분
| 제품 | 화학 성분 (wt%) ≤ | 규격 |
| Zr+Hf ≥ | Hf | Fe+Cr | Sn | H | N | C | Nb | O |
| R60700 | 99.2 | 4.5 | 0.20 (최대) | - | 0.005 | 0.025 | 0.05 | - | 0.10 | ASTM B551/551M |
| R60702 | 99.2 | 4.5 | 0.20 (최대) | - | 0.005 | 0.025 | 0.05 | - | 0.16 |
| R60704 | 97.5 | 4.5 | 0.20 - 0.40 | 1.0 - 2.0 | 0.005 | 0.025 | 0.05 | - | 0.18 |
| R60705 | 95.5 | 4.5 | 0.20 (최대) | - | 0.005 | 0.025 | 0.05 | 2.0 - 3.0 | 0.18 |
| R60706 | 95.5 | 4.5 | 0.20 (최대) | - | 0.005 | 0.025 | 0.05 | 2.0 - 3.0 | 0.16 |
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표의 값은 ASTM 규격 및 원본 자료 기준 참고값입니다. 실제 납품 사양은 제품별 성적서(밀시트)를 기준으로 합니다.
산업 · 연구용 소재로, 용도 적합성은 사용자가 판단해야 합니다.
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