바나듐 회전형 타겟 (로터리 타겟)

이산화바나듐(VO₂) 박막은 68°C 에서 금속상과 반도체상 사이의 상전이가 일어나며, 이때 전기적 · 광학적 성질이 가역적으로 급변합니다. 그래서 마이크로 볼로미터, 메모리, 광 스위치 등 전기 · 광학 소자의 이상적인 기능 재료입니다.

박막 도핑으로 상전이 온도를 상온까지 낮출 수 있고, 온도에 따라 투과율이 바뀌어 스마트 유리창에 특히 효과적이며 에너지 절약에 중요합니다.

제조 방법

1. 바나듐 금속 덩어리(잉곳)을 전자빔으로 두 번 용해합니다.
2. 기계 가공으로 선반에서 안 · 바깥 면을 다듬고 중심 구멍을 뚫습니다.
3. 바나듐 소재 관의 안쪽 · 벽 · 끝면을 피복재로 감싸 밀봉 용접합니다.
4. 고온으로 가열한 뒤 요구 치수로 구멍으로 밀어내 모양을 만드는 가공(압출)합니다.