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세라믹 접착제 1260℃~3000℃
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흑연 Sagger (토갑/내화갑)
흑연 도가니 (그라파이트)-영국
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LINN HIGH THERM LIFUMAT MET
Macor 기계가공 마코
Alumina 기계가공 알루미나 판, 플레이트
주문제작 세라믹-알루미나,지르코니아
주문제작 Boron Nitride
질화붕소 Boron Nitride 기계가공 BN
Shapal Hi M Soft™ 기계가공 AlN
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세륨 옥사이드(Cerium Oxide) 세리아 보드


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BN(Boron Nitride) 보론나이트라이드 질화붕소 주문제작

BN Boron Nitride 기계가공성 세라믹

Boron Nitride (BN) 특징

Boron Nitride (BN, 질화붕소)는 고체 및 분말 형태로 제공되는 첨단 합성 세라믹 소재입니다.

독특한 특성인 높은 열용량과 우수한 열 전도성, 가공 용이성, 윤활성, 낮은 유전상수 및 우수한 유전 강도는 붕소질화물을 정말 탁월한 소재로 만듭니다.

고체 형태의 BN은 종종 "백색 흑연"이라고 불리며 그래핏의 미세구조와 유사한 특징을 가지고 있습니다. 그러나 그라파이트(흑연)와 달리 우수한 전기 절연체로서 더 높은 산화 온도를 가지고 있습니다.

높은 열 전도성과 우수한 열 충격 저항성을 제공하며 거의 모든 형태로 근사한 허용 오차 내에서 쉽게 가공할 수 있습니다. 가공 후에는 추가적인 열 처리나 소성 공정 없이 사용할 준비가 되어 있습니다.

주요 장점

  • 우수한 열충격 저항성
  • 높은 전기 절연성
  • 낮은 밀도
  • 높은 열전도율
  • 우수한 플라즈마 저항성
  • 소수성 (Grade M26) - 습기 완전 내성

반도체 식각 장비용 BN 등급 선정 가이드

플라즈마 환경용 추천 등급

1순위: Grade M26 (Composite) ⭐⭐⭐

  • 조성: 60% BN + 40% SiO₂
  • 검증 실적: Hall thruster 방전 챔버 소재로 검증
  • 플라즈마 특성: 균일한 플라즈마 식각 특성, 낮은 스퍼터링 수율
  • 2차 전자 방출: 적절한 2차 전자 방출 특성으로 플라즈마 안정성 우수
  • 내습성: 소수성(Hydrophobic) - 습기에 완전 내성
  • 신뢰성: MIL-I-10A 규격 L542 시험 통과 (48시간 수침 후 고주파 시험)
  • 경제성: 성능과 가격의 균형이 우수
  • 적용: 반도체 식각 장비, Hall thruster, 플라즈마 방전 챔버

2순위: Grade AX05 (Ultra High Purity) ⭐⭐

  • 순도: >99.7%, 바인더 없음
  • 장점: 최고순도로 오염 최소화, 초고온 적용 가능 (2000°C)
  • 단점: 높은 가격
  • 적용: 고순도 요구 공정, 초고온 환경

3순위: Grade HP (High Performance) ⭐

  • 바인더: Calcium borate glass
  • 장점: 경제적, 우수한 가공성, 범용적 사용
  • 단점: M26 대비 플라즈마 검증 실적 부족
  • 적용: 일반 고온 용도, 범용 절연 부품

비추천: Grade A (Legacy)

  • 이유: B₂O₃ 바인더 사용으로 습기에 약함, 부식 가능성
  • 플라즈마 환경 부적합

핫프레스 BN vs 열분해 PBN 비교

특성 핫프레스 BN (HBN) 열분해 PBN
제조 방법 h-BN 분말을 고온·고압 소결
(소결조제: B₂O₃, CaO 등 사용)
화학기상증착 (CVD)
(BCl₃ + NH₃ 기상 반응)
미세구조 다결정 구조 - 등방성 주상정 구조 - 이방성
밀도 이론밀도 대비 97-99.5% 초고밀도
순도 ≤99.9% >99.995%
가공성 우수 (복잡한 형상 제작 용이) 제한적
플라즈마 저항성 균일한 마모 특성
등방성 스퍼터 침식률
(0.1-0.3 mm/1000시간)
층간 박리 위험
(layer-by-layer delamination)
진공 아웃가싱 ~10⁻⁸ Torr·L/(s·cm²) <5×10⁻¹¹ Torr·L/(s·cm²)
가격 경제적 고가
반도체 식각 장비 추천 ⭐ 추천
균일한 플라즈마 침식
양산 적합
△ 특수 용도만
(초고순도 요구 시)


순수 등급 (Pure Grades) BN 물성

항목 단위 PCBN1000 PCBN3000 PCBN6000 PCBN11000 Grade AX05
기계적 특성
Compressive Strength (압축강도) MPa 40 ∥ / 40 ⊥ 24 ∥ / - - 22 ∥ / 23 ⊥ 25 ∥
Density (밀도) g/cm3 1.9 1.9 1.6 1.9 1.9
Flexural Strength @ 25°C (굽힘강도) MPa 52 ∥ / 60 ⊥ 21 ∥ / 20 ⊥ 28 10 ∥ / 8 ⊥ 22 ∥ / 21 ⊥
Young's Modulus (탄성계수) GPa - 17 ∥ / 73 ⊥ 12 23 ∥ / 20 ⊥ 17 ∥ / 71 ⊥
열적 특성
Thermal Conductivity (열전도율) W/m·K 21 ∥ / 21 ⊥ 73 ∥ / 128 ⊥ 60 20 ∥ / 30 ⊥ 78 ∥ / 130 ⊥
CTE @ 25°C – 400°C (열팽창계수) 10-6/K - -2.3 ∥ / -0.7 ⊥ -0.6 1.0 ∥ / 0.5 ⊥ -2.3 ∥ / -0.7 ⊥
CTE @ 400°C – 800°C 10-6/K - -2.5 ∥ / 1.1 ⊥ - - -2.5 ∥ / 1.1 ⊥
CTE @ 800°C – 1200°C 10-6/K - 1.6 ∥ / 0.4 ⊥ - - 1.6 ∥ / 0.4 ⊥
Max Temperature (Air) (대기중 최고온도) °C 850 850 850 900 850
Max Temperature (Inert) (불활성가스중) °C 2000 2000 2100 2000 2000
전기적 특성
Dielectric Constant @ 1MHz (유전상수) - - 4.0 ∥ / 4.0 ⊥ 2.7 4.0 4.0 ∥ / 4.0 ⊥
Dissipation Factor @ 1MHz (손실계수) - - 1.2E-3 ∥ / 3.0E-3 ⊥ 1.0E-3 - 1.2E-3 ∥ / 3.0E-3 ⊥
Dielectric Strength (DC) (절연내력) kV/mm >70 >75 >40 63 79
Volume Resistivity @ 25°C (체적저항률) Ω·cm >1014 ∥ / >1014 >1013 ∥ / >1014 1015 >1012 >1013 ∥ / >1014


바인더/복합 등급 (Binder/Composite Grades) BN 물성

항목 단위 PCBN2000 PCBN4000 PCBN5000 PCBN9000 Grade A Grade HP Grade M26
⭐추천
기계적 특성
Compressive Strength (압축강도) MPa 312 ∥ / 312 ⊥ 95 ∥ / - - 52 ∥ / 60 ⊥ 143 ∥ / 186 ⊥ 96 ∥ -
Density (밀도) g/cm3 2.1 1.85-2.05 2.0 1.9 2.0 2.0 2.1
Flexural Strength @ 25°C (굽힘강도) MPa >49 ∥ / >49 ⊥ 58 ∥ / 44 ⊥ 61 ∥ / 33 ⊥ 40 ∥ / 35 ⊥ 94 ∥ / 65 ⊥ 59 ∥ / 45 ⊥ 62 ∥ / 34 ⊥
Young's Modulus (탄성계수) GPa - 39 ∥ / 58 ⊥ - 30 ∥ / 15 ⊥ 47 ∥ / 74 ⊥ 40 ∥ / 60 ⊥ -
열적 특성
Thermal Conductivity (열전도율) W/m·K - 27 ∥ / 29 ⊥ 11 ∥ / 26 ⊥ 33 ∥ / 35 ⊥ 30 ∥ / 34 ⊥ 27 ∥ / 29 ⊥ 11 ∥ / 29 ⊥
CTE @ 25°C – 400°C (열팽창계수) 10-6/K - 0.6 ∥ / 0.4 ⊥ 3.0 ∥ / 0.4 ⊥ 4.0 ∥ / 3.0 ⊥ 3.0 ∥ / 3.0 ⊥ 0.6 ∥ / 0.4 ⊥ 3.0 ∥ / 0.4 ⊥
CTE @ 400°C – 800°C 10-6/K - 1.1 ∥ / 0.8 ⊥ 5.6 ∥ / 4.3 ⊥ - 2.0 ∥ / 1.4 ⊥ 1.1 ∥ / 0.8 ⊥ 2.5 ∥ / 0.1 ⊥
CTE @ 800°C – 1200°C 10-6/K - 1.5 ∥ / 0.9 ⊥ 7.2 ∥ / 5.2 ⊥ - 1.9 ∥ / 1.8 ⊥ 1.5 ∥ / 0.9 ⊥ 3.0 ∥ / 0.1 ⊥
Max Temperature (Air) (대기중 최고온도) °C 850 850 1000 900 850 850 1000+
Max Temperature (Inert) (불활성가스중) °C 1000 1200 1000 1500 1200 1150 1000+
전기적 특성
Dielectric Constant @ 1MHz (유전상수) - - 4.3 ∥ / 4.0 ⊥ 4.5 ∥ / 3.8 ⊥ 4.0 4.6 ∥ / 4.2 ⊥ 4.3 ∥ / 4.0 ⊥ 4.5 ∥ / 3.8 ⊥
Dissipation Factor @ 1MHz (손실계수) - - 1.5E-3 ∥ / 2.1E-3 ⊥ 1.7E-3 ∥ / 6.7E-3 ⊥ - 1.2E-3 ∥ / 3.4E-3 ⊥ 1.5E-3 ∥ / 2.1E-3 ⊥ 1.7E-3 ∥ / 6.7E-3 ⊥
Dielectric Strength (DC) (절연내력) kV/mm - >10 66 100 88 10 66
Volume Resistivity @ 25°C (체적저항률) Ω·cm - >1013 ∥ / >1013 1013 ∥ / >1014 >1012 ∥ / >1012 >1013 ∥ / >1014 1013 ∥ / >1013 >1013 ∥ / >1014
플라즈마 환경 적합성 - - ⭐⭐⭐


기계 등급 (Mechanical Grades) BN 물성

항목 단위 PCBN7000 PCBN8000 Grade ZSBN
기계적 특성
Compressive Strength (압축강도) MPa 170 ∥ / 170 ⊥ 270 ∥ / 315 ⊥ 219 ∥ / 254 ⊥
Density (밀도) g/cm3 2.9 2.3 2.9
Flexural Strength @ 25°C (굽힘강도) MPa 120 ∥ / 70 ⊥ 120 ∥ / 95 ⊥ 144 ∥ / 107 ⊥
Young's Modulus (탄성계수) GPa 60 ∥ / 30 ⊥ 45 ∥ / 30 ⊥ 71 ∥ / 71 ⊥
열적 특성
Thermal Conductivity (열전도율) W/m·K 28 ∥ / 38 ⊥ 27 ∥ / 45 ⊥ 24 ∥ / 34 ⊥
CTE @ 25°C – 400°C (열팽창계수) 10-6/K 8.0 ∥ / 4.0 ⊥ 4.0 ∥ / 2.5 ⊥ 4.1 ∥ / 3.4 ⊥
CTE @ 400°C – 800°C 10-6/K - - 5.6 ∥ / 4.3 ⊥
CTE @ 800°C – 1200°C 10-6/K - - 7.2 ∥ / 5.2 ⊥
Max Temperature (Air) (대기중 최고온도) °C 900 900 850
Max Temperature (Inert) (불활성가스중) °C 1800 1800 1600
전기적 특성
Dielectric Constant @ 1MHz (유전상수) - 6.8 2.7 18 ∥ / 19 ⊥
Dissipation Factor @ 1MHz (손실계수) - - - 4.5E-2 ∥ / 6.7E-2 ⊥
Dielectric Strength (DC) (절연내력) kV/mm 86 100 3.5
Volume Resistivity @ 25°C (체적저항률) Ω·cm >1012 ∥ / >1012 >1015 ∥ / >1015 >1013 ∥ / >1012

BN 세라믹 적용 분야

반도체 제조 분야

  • 플라즈마 식각 장비 부품 (M26 추천)
  • 웨이퍼 캐리어
  • 히터 및 서셉터
  • 진공 증착 장비 부품

우주항공 분야

  • Hall thruster 방전 챔버 (M26 검증)
  • 고온 절연 부품
  • 열 관리 소재

일반 산업 분야

  • 열처리 고정구 (Heat Treatment Fixtures)
  • 브레이크 링 (Break Rings)
  • 고온 밸브 (High Temperature Valves)
  • 레이저 노즐 (Laser Nozzles)
  • 데크 플레이트 (Deck Plates)
  • 고전압 절연체 (High Voltage Insulators)
  • 금속 용해 및 주조용 도가니

BN 등급별 사용환경 및 추천 용도

순수 등급 (Pure Grades) 사용 환경

등급 주요 특징 추천 사용 환경 적합도
PCBN1000 등방성, 균형잡힌 물성 • 일반 고온 절연 부품
• 열처리 지그
• 범용 세라믹 부품
• 고온 전기 절연체
★★★
PCBN3000 높은 열전도율
(73-128 W/m·K)
열 관리 부품
• 방열 기판
• 고출력 LED 히트싱크
• 전력반도체 방열판
★★★★
PCBN6000 저밀도 (1.6 g/cm³)
고온 안정성
• 경량화 필요 부품
• 고온 단열재
• 우주항공 부품
• 불활성 가스 환경 (~2100°C)
★★★
PCBN11000 대기중 900°C
불활성 2000°C
• 고온 로 부품
• 진공로 내부 부품
• 고온 가스 환경 부품
★★★
Grade AX05 초고순도 (>99.7%)
무바인더
최고 열전도율
반도체 고순도 공정
• 단결정 성장용 crucible
• 초고온 용융 금속 접촉
• 오염 제로 요구 환경
• 고급 연구 장비
★★★★★

바인더/복합 등급 (Binder/Composite Grades) 사용 환경

등급 주요 특징 추천 사용 환경 적합도
PCBN2000 초고강도
(압축 312 MPa)
• 고하중 구조 부품
• 기계 가공용 지그
• 압력 접촉 부품
★★★
PCBN4000 균형잡힌 물성
대기 850°C
불활성 1200°C
• 범용 고온 부품
• 열처리 고정구
• 고온 전기 절연체
• 일반 산업용 세라믹
★★★
PCBN5000 대기 1000°C
높은 굽힘강도
초고온 대기 환경
• 로내 고정구
• 고온 구조 부품
• 산화 분위기 사용
★★★★
PCBN9000 불활성 1500°C
높은 열전도율
• 초고온 진공/불활성 환경
• 고온로 내부 부품
• 열 관리 필요 고온 부품
★★★★
Grade A B₂O₃ 바인더
습기에 취약
※ 사용 비추천
• 레거시 등급
• 습기 환경 부적합
• 장기 보관 시 열화
• 대체 등급 사용 권장
Grade HP 칼슘붕산염 바인더
내습성 우수
경제적
범용 고온 부품
• 경제적 솔루션 필요 시
• 습한 환경 사용 가능
• 대량 생산 부품
• 열처리 고정구
• 일반 절연 부품
★★★★
Grade M26
⭐최고추천
60% BN + 40% SiO₂
소수성
플라즈마 검증
• 반도체 플라즈마 식각 장비 ⭐⭐⭐
• Hall thruster 방전 챔버 (검증됨)
• 플라즈마 환경 부품
• 이온빔 노출 부품
• 습기 완전 내성 필요 환경
• MIL-I-10A 신뢰성 요구
• 2차 전자 방출 제어 필요
• 균일한 스퍼터링 수율 요구
• 우주항공 추진 시스템
★★★★★

기계 등급 (Mechanical Grades) 사용 환경

등급 주요 특징 추천 사용 환경 적합도
PCBN7000 고밀도 (2.9 g/cm³)
높은 압축강도
불활성 1800°C
고하중 고온 부품
• 내마모 부품
• 고온 베어링
• 슬라이딩 부품
• 초고온 진공 환경
★★★★
PCBN8000 초고강도
(압축 270-315 MPa)
높은 열전도율
불활성 1800°C
극한 하중 환경
• 고온 구조 부품
• 압력 용기 내부
• 고온 기계 부품
• 고순도 요구 (>10¹⁵ Ω·cm)
★★★★★
Grade ZSBN ZrO₂ 안정화
최고 굽힘강도
(144 MPa)
연속 주조 브레이크 링
• 용융금속 접촉 부품
• 고온 내마모 부품
• 열충격 환경
• 금속 주조 산업
• 고온 씰링 부품
★★★★

용도별 BN 등급 빠른 선택 가이드

사용 목적 1순위 추천 2순위 대안
반도체 플라즈마 식각 장비 M26
(Hall thruster 검증, 소수성)
AX05 (고순도)
HP (경제적)
초고순도 요구 공정 AX05 (>99.7%) PCBN3000
열 관리 / 방열 PCBN3000
(열전도율 73-128 W/m·K)
AX05
PCBN9000
초고온 대기 환경 (900-1000°C) PCBN5000
(대기 1000°C)
PCBN11000
초고온 진공/불활성 (1500-2100°C) PCBN6000 (2100°C)
PCBN9000 (1500°C)
PCBN7000/8000 (1800°C)
고하중 기계 부품 PCBN8000
(압축강도 270-315 MPa)
PCBN2000
PCBN7000
용융금속 접촉 (주조) ZSBN
(ZrO₂ 안정화)
AX05
PCBN8000
경제적 범용 고온 부품 HP
(성능/가격 균형)
PCBN4000
PCBN1000
경량화 요구 부품 PCBN6000
(밀도 1.6 g/cm³)
PCBN1000
내마모 / 슬라이딩 부품 PCBN7000 ZSBN
PCBN8000
습한 환경 사용 M26 (소수성)
HP (내습성)
순수 등급 (바인더 없음)
습기 노출 환경 Grade A 사용 금지 (B₂O₃ 바인더 부식)

산업 분야별 추천 BN 등급

산업 분야 추천 등급 주요 용도
반도체 제조 M26, AX05 플라즈마 식각 챔버, 웨이퍼 캐리어, 히터, 서셉터, 진공 증착 부품
우주항공 M26, PCBN6000, AX05 Hall thruster, 추진 시스템, 경량 고온 부품, 열 차폐
금속 주조 ZSBN, AX05, PCBN8000 브레이크 링, 도가니, 용융금속 접촉 부품
전력전자 PCBN3000, AX05 파워모듈 방열기판, 고전압 절연체, LED 히트싱크
열처리 산업 HP, PCBN5000, PCBN4000 로내 고정구, 지그, 받침대, 절연 부품
유리/세라믹 제조 AX05, PCBN9000 용융 도가니, 고온 몰드
화학 공정 HP, M26 반응기 내부 부품, 고온 밸브 시트, 씰
연구/분석 장비 AX05, PCBN3000 고순도 crucible, 분석기 부품, 진공 챔버

💡 선택 팁:
- 순도가 최우선이면 → AX05
- 플라즈마 환경이면 → M26
- 방열이 중요하면 → PCBN3000
- 기계적 강도가 필요하면 → PCBN8000, ZSBN
- 경제성이 중요하면 → HP
- 습한 환경이면 → M26, HP (Grade A 피하기)
- 초고온 진공이면 → PCBN6000, PCBN9000, PCBN7000/8000

※ 주의사항
- 제시된 값은 테스트 샘플에서 얻은 평균 및 일반적인 값입니다.
- 세라믹 부품 설계 시 참고용으로만 제공되며 어떠한 방식으로도 보증되지 않습니다.
- 실제 값은 부품의 형상과 크기에 따라 달라질 수 있습니다.
- ∥ 표시는 평행 방향, ⊥ 표시는 수직 방향 물성을 의미합니다.

※ 평가 샘플 및 기술 지원
- 반도체 식각 장비용 평가 샘플 제공 가능 (M26, AX05, HP 등)
- 플라즈마 환경 적합성 검토 및 기술 자료 제공
- 문의: cerapoxy@gmail.com / 02-2104-6614


 
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